העיבוד של חלקים מדויקים אינו יכול להשלים את כל תוכן העיבוד של כל המשטחים בתהליך יחיד. תהליך עיבוד כולו של עיבוד חלקים דיוק ניתן לחלק את השלבים הבאים:
(1) שלב מחוספס. רוב קצבאות המכונות מוסרות מכל אחד מהמשטחים המצויים במכונה, ונעשות הפניות נאה. השיקול העיקרי הוא להגדיל את הפרודוקטיביות ככל האפשר.
(2) שלב גמר. הסרת פגמים שעלולים להתרחש לאחר עיבוד גס מכין את פני השטח לסיום עיבוד, דורש מידה מסוימת של דיוק עיבוד, מבטיח גמלאות מתאים, ומשלים את עיבוד של משטחים משניים באותו זמן.
(3) שלב הגמר. בשלב זה, מהירות חיתוך גדולה, קצב הזנה קטן ועומק חיתוך משמשים להסרת קצבת הגמר שהותירה בתהליך הקודם, כך שמשטח החלק מגיע לדרישות הטכניות של התבנית.
(4) שלב הגמר. הוא משמש בעיקר כדי להפחית את החספוס פני השטח או לחזק את משטח במכונה. הוא משמש בעיקר לעיבוד משטח עם חספוס פני השטח גבוהה (ra≤0.32 מיקרומטר).
(6) עיבוד שלב אולטרה דיוק. דיוק העיבוד הוא 0.1-0.01μm ואת הערך החספוס פני השטח הוא ≤ 0.001μm. שיטות העיבוד העיקריות הן: חיתוך דיוק, דיוק גריסה מראה, דיוק שחיקה ליטוש, וכו '
