חומרים מתאדים כגון מתכות, תרכובות, וכו 'ממוקמים כור ההיתוך או תלויים על חוט חם כמקור אידוי, מצעים להיות מצופה כגון מתכות, קרמיקה, פלסטיק, וכו' ממוקמים מול כור היתוך. לאחר המערכת נשאבים ל ואקום גבוה, החומר מתאדה על ידי חימום את הכור. האטומים או המולקולות של החומר המתנדף מופקדים על משטח המצע בצורה מתוחכמת. עובי הסרט יכול לנוע בין מאות אנגסטרומים למספר מיקרונים. עובי הסרט נקבע על פי קצב האידוי והזמן של מקור האידוי (או בהתאם לכמות המטען) והוא קשור למרחק בין המקור לבין המצע. עבור ציפוי שטח גדול, מצע מסתובב או מקורות אידוי מרובים משמשים לעתים קרובות כדי להבטיח את האחידות של עובי הסרט. המרחק ממקור האידוי אל המצע צריך להיות פחות מהנתיב החופשי הממוצע של מולקולות האדים בגז השיורי, כך שמולקולות האדים אינן מתנגשות עם מולקולות גז שיוריות כדי לגרום לתגובות כימיות. האנרגיה הקינטית הממוצעת של מולקולות אדי היא על 0.1-0.2 וולט אלקטרון.
חומרים מתאדים כגון מתכות, תרכובות, וכו 'ממוקמים כור ההיתוך או תלויים על חוט חם כמקור אידוי, מצעים להיות מצופה כגון מתכות, קרמיקה, פלסטיק, וכו' ממוקמים מול כור היתוך. לאחר המערכת נשאבים ל ואקום גבוה, החומר מתאדה על ידי חימום את הכור. האטומים או המולקולות של החומר המתנדף מופקדים על משטח המצע בצורה מתוחכמת. עובי הסרט יכול לנוע בין מאות אנגסטרומים למספר מיקרונים. עובי הסרט נקבע על פי קצב האידוי והזמן של מקור האידוי (או בהתאם לכמות המטען) והוא קשור למרחק בין המקור לבין המצע. עבור ציפוי שטח גדול, מצע מסתובב או מקורות אידוי מרובים משמשים לעתים קרובות כדי להבטיח את האחידות של עובי הסרט. המרחק ממקור האידוי אל המצע צריך להיות פחות מהנתיב החופשי הממוצע של מולקולות האדים בגז השיורי, כך שמולקולות האדים אינן מתנגשות עם מולקולות גז שיוריות כדי לגרום לתגובות כימיות. האנרגיה הקינטית הממוצעת של מולקולות אדי היא על 0.1-0.2 וולט אלקטרון.
ישנם שלושה סוגים של מקורות אידוי. (1) התנגדות מקור חימום: מתכת עקשן כגון טונגסטן או טנטלום משמש ליצירת רדיד סירה או נימה, אשר מחומם על ידי זרם חשמלי, מחומם מעל זה, או להציב כור (איור 1) תרשים סכמטי של אידוי ציוד ציפוי]). המקור משמש בעיקר כדי להתאדות CD, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni וחומרים אחרים. 2 חימום גבוה אינדוקציה חימום מקור: השתמש אינדוקציה בתדירות גבוהה הנוכחי לחום הליום וחומרים מאדים. 3 מקור חימום קרן אלקטרונים: מתאים לחומרים בעלי טמפרטורת אידוי גבוהה (לא פחות מ -2000 [618-1]), כלומר להפציץ את החומר עם קרן אלקטרונים כדי להתאדות.